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主營(yíng)干式真空泵、螺桿真空泵等

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干式真空泵如何進(jìn)行優(yōu)化選擇

更新時(shí)間:23/02/04 11:01:02     來(lái)源:www.hushitai.cn
  干式真空泵是未來(lái)行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì),雖然目前還沒(méi)有使用,除了價(jià)格偏高之外,還有干式真空泵用戶不到位,看不到經(jīng)濟(jì)效益帶來(lái)的企業(yè),小編這里專注于如何使干式真空泵優(yōu)化選擇?
  有了這些不同類型的干式真空泵,我們一直都在渴望能夠減小其物理尺寸。然而,這與真空泵的抽氣速度相矛盾,因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的體積成比例。小的物理尺寸意味著音量也很小。當(dāng)然,影響真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是速度。為了使小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度一致,需要提高速度。而要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法,一種是改變電源的頻率,即使用變頻器;二是改變變速箱的比例。其中,使用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制,但容易導(dǎo)致重載下的轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變齒輪箱的齒輪比是一個(gè)非常經(jīng)濟(jì)的方法,當(dāng)然它只能提供單一的速度不能被控制。
  現(xiàn)在,你可以看到干式真空泵有這么多不同的設(shè)計(jì),各有各的特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn)。歷史上,使用成本一直是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶意識(shí)到,真空泵的穩(wěn)定性也應(yīng)該被考慮在內(nèi)。因?yàn)檎婵毡靡馔忮e(cuò)誤會(huì)造成機(jī)器使用效率降低,影響晶圓的生產(chǎn)和交貨,甚至造成晶圓廢料和其他零件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì),因此與多級(jí)泵(如球縫,爪和組合)相比,所用零件的數(shù)量可減少多達(dá)60%,這對(duì)穩(wěn)定性和未來(lái)的維護(hù)成本來(lái)說(shuō)是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。
  總的來(lái)說(shuō),如果用戶認(rèn)為耗電量對(duì)他來(lái)說(shuō)是重要的,那么選擇一個(gè)內(nèi)部加壓螺釘可能是一個(gè)不錯(cuò)的選擇,而氮含量對(duì)他來(lái)說(shuō)是不重要的。但總的來(lái)說(shuō),對(duì)尾氣處理的要求越來(lái)越嚴(yán)格,減少未來(lái)使用的氮?dú)饬烤惋@得尤為重要。如果您想要處理各種各樣的半導(dǎo)體工藝,而不用一種簡(jiǎn)單的庫(kù)存控制泵來(lái)改變它們,外部壓緊螺絲是好的選擇。
  根據(jù)情況,結(jié)合以上所有設(shè)計(jì)類型的優(yōu)勢(shì)必須是理想的選擇,但還不可能。因此,用戶需要知道干泵的設(shè)計(jì)有多種不同的設(shè)計(jì)類型,然后根據(jù)自己的工藝特點(diǎn)來(lái)了解不同類型泵設(shè)計(jì)的影響。這種選擇可以使其使用成本縮小,并獲得更長(zhǎng)的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。

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